应用中心 · 独立系统工程服务

光刻胶与高纯化学品
过滤 · 灌装系统

众甫半导体面向半导体制造、封装、设备与化学品客户,独立提供光刻胶与高纯化学品过滤、灌装系统设计; 过滤器、管阀件及包装容器根据项目需求进行品牌中立选型。

过滤器
气体与液体过滤
滤芯
型号确认与替换
NOWPak
化学品包装系统
PFA
阀门、管材与接头
Product & Selection Support · 产品与选型支持
Entegris
众甫半导体 Entegris 相关产品 · 型号确认 · 选型与询价协助
Verification · 可核验
主体与范围核验 资料按型号确认 技术资料与售后协调

从材料特性出发,设计洁净流路

围绕光刻胶与高纯电子化学品,整合过滤、输送、灌装和高纯流体部件,形成可评审、可实施的系统方案。

众甫独立设计 · Photoresist

光刻胶过滤系统

针对 EUV、ArF、KrF 光刻胶以及显影液、BARC 等材料,评估过滤精度、滤材相容性、压差、滞留体积和微泡风险,支持本体过滤、循环过滤与终端过滤方案。

原液容器惰性气体加压预过滤精过滤洁净灌装

产品支持 · 工况匹配 · 本地服务

围绕 Entegris 相关产品,众甫半导体提供型号确认、工况整理、选型协助、资料与售后协调;具体授权、产品范围、区域和有效期按项目书面核验。

Verifiable Product Support
Entegris
应特格 · 英特格 · 产品与选型支持
🏭覆盖前道 / 后道 / 先进封装应用
🔬按项目协调技术资料与相关资源
🚚交期与供货范围按项目书面确认
📋文件类型与版本按具体型号确认
🤝长期服务与供应链协同
01
资料与资源协调

围绕具体型号和项目需求协调产品资料、技术确认与相关资源;可提供的范围和周期以书面回复为准。

02
按工况沟通

围绕介质、SDS、工艺位置、过滤目标、流量压降、温压、接口和安装条件整理选型输入。

03
本地化项目协调

公司位于湖北武汉,为中国大陆客户协调产品资料、报价、交期和售后事项。

04
主体与范围核验

涉及公司主体、授权、销售区域、产品范围或资料版本时,以当前有效并与具体采购项目匹配的书面文件为准。

Entegris 核心产品线

覆盖半导体制造、先进封装及设备应用中的过滤、纯化、包装、高纯流体和晶圆搬运相关需求。

Entegris 过滤器 Entegris 滤芯 NOWPak PFA 管阀件 过滤 · 灌装系统 EUV Pod 对比资料 Entegris 品牌服务 资质核验
液体过滤
Entegris®

液态化学品过滤与纯化

覆盖 HF、H₂O₂、SC1/SC2、光刻胶、显影液等关键湿法化学品,提供颗粒去除、金属离子纯化及配套滤壳,满足 EUV 级别洁净要求。

光刻胶、显影液、BARC、EUV / ArF / KrF 光刻胶过滤可查看 光刻胶过滤器与滤芯选型应用页

液体过滤器 · Liquid Filters Torrento® X、Microgard®、Eximore® 等系列,覆盖光刻胶、酸、碱、CMP 浆料等多种介质,支持 2nm 以下节点颗粒控制要求。 查看产品系列 →
液体纯化器 · Liquid Purifiers 去除湿法化学品中的痕量金属离子与阴离子杂质,适用于超高纯化学品处理场景,保护关键工艺免受金属污染影响。 查看产品系列 →
光刻胶过滤 · Photoresist 面向 EUV、ArF、KrF 光刻胶、显影液、BARC 与点供过滤应用,整理过滤器、滤芯、NOWPak 和 PFA 管路选型参数。 查看应用页 →
液体滤壳 · Liquid Filter Housings 与过滤器配套的高纯 PFA / PVDF 滤壳系统,适用于腐蚀性化学品环境,支持单芯与多芯配置,满足不同流量与压力需求。 查看产品系列 →
气体过滤
Entegris®

气体过滤 · 纯化 · AMC 控制

工艺气体过滤器、AMC(空气分子污染)过滤系统,保护光刻机、扫描仪及工艺腔体,消除酸性/碱性/有机分子对良率的影响。

在线气体过滤 · Inline Gas Filters Wafergard® GT-Plus/GTL、II F Micro、MAX 及 NF 镍膜系列,覆盖 PTFE 与全金属过滤器,适用于惰性、反应性及高温腐蚀性气体管路。 查看产品系列 →
气体纯化 · Gas Purification GateKeeper® GPU 点供纯化器、HGU 加热 Getter 纯化器及 EX/HX 厂务级纯化系统,痕量水氧/金属/腐蚀性杂质出口纯度达 pptV 级别。 查看产品系列 →
气体扩散 · Gas Diffuser Chambergard™ 快速排气扩散器,用于 load lock 与传输腔向大气快速泄压,不扰动腔内晶圆,缩短排气循环时间、提升系统产能。 查看产品系列 →
AMC · 分子污染控制 VaporSorb™、SilverSet® 系列去除酸碱有机分子污染,保护 DUV / EUV 光刻机镜头与工艺腔体,适用 22nm 及以下先进节点。 查看产品系列 →
晶圆传输容器
Entegris®

晶圆与器件传输容器

覆盖 300mm / 200mm 晶圆传输、光罩 (Reticle) 及裸晶 / CSP 器件的全套传输与包装解决方案,防颗粒、防静电、兼容 OHT 自动化系统。

FOUP · 晶圆前开口传输盒 A300 / Spectra 300mm FOUP 及 200mm SMIF Pod,符合 SEMI E47/E62,防静电防颗粒,兼容 OHT 自动传输系统。 查看产品系列 →
光罩传输盒 · Reticle Pod EUV 1010 系列、RSP-200 及 MRP 多光罩传输盒,防颗粒与 AMC 污染,保护 EUV / ArF 光刻光罩完整性。 查看产品系列 →
裸晶 / CSP 封装托盘 H20 / H44 系列标准化 IC 封装托盘,防静电材质适用于裸晶、CSP、光电器件的安全传输与测试。 查看产品系列 →
高纯 PFA 管路
Entegris®

高纯 PFA 管路

适用于半导体 Fab 超纯水(UPW)及湿法化学品输送的高纯 PFA 管材,极低析出、耐强酸碱,覆盖 BCD 至使用点(POU)全段管路需求。

FluoroLine® PFA 管材 超高纯 PFA 管(UltraPure / ESD 防静电 / 双层防护),极低析出、耐强酸碱,覆盖 BCD 至 POU 全段管路。 查看产品系列 →
PureBond® 焊接管材 可焊接高纯 PFA 管,热焊接接头无泄漏风险,适用于超纯水(UPW)及腐蚀性化学品管路系统。 查看产品系列 →
阀门 · 管接头
Entegris®

高纯 PFA 阀门 · 管接头

覆盖隔膜阀、截止阀及各类管接头,适用于腐蚀性化学品管路的精密流量控制与高纯流体分配系统。

阀门系列 · Valves Integra® 精密隔膜阀、PrimeLock® 截止阀,全 PFA 结构,适用于腐蚀性化学品管路的精密流量控制与分配。 查看产品系列 →
管接头系列 · Fittings PrimeLock®、Flaretek®、PureBond® 系列高纯 PFA 管接头,低析出、耐腐蚀,覆盖各类半导体管路连接需求。 查看产品系列 →
化学品包装方案
Entegris®
Entegris NOWPak 不锈钢 canister 化学品包装容器 Entegris NOWPak canister dispense connector 高粘度化学品取液连接器 Entegris NOWPak bottle liner based system 化学品包装瓶 Entegris FluoroPure 高纯大容量化学品包装桶

化学品包装方案

面向半导体湿法化学品的高纯包装容器,从折叠内袋至大容量桶装,降低余液浪费与污染风险,满足全场景储运分配需求。

高粘度 PI、OLED 基板 PI、黄 PI、PSPI 等聚酰亚胺材料可查看 NOWPak 包装与供液应用页

NOWPak® 折叠内袋系统 折叠式内袋实现近零余液输送,气动/重力分配接口,减少化学品浪费,降低废液处置成本与污染风险。 查看产品系列 →
高粘度 PI · OLED 黄 PI 应用 面向高粘度 PI、OLED 基板 PI、黄 PI、PSPI 等材料,确认 NOWPak 包装、连接器、过滤与 PFA 管路参数。 查看应用页 →
FluoroPure® 大容量包装 高纯 HDPE Drum 桶与 IBC 中型散装容器,三层阻隔结构,适用于大宗化学品储运与本体化学品分配系统。 查看产品系列 →
🏭 Japan Pail Corporation

高纯金属储运桶 · Steel Pail with HDPE

外桶 TFS + 内胆无添加 HDPE 双层结构,专为 OLED 高粘度基板黄色 PI、PSPI 等半导体化学品储运设计,余液极低、颗粒严格管控,符合 UN 危险品标准。

Eco Type · 开口型低余液款 专利内胆形状余液极少,开口型便于内外桶分类处置,直接加压取液(≤100 kPa),降低废液成本,最经济环保选型。 查看产品详情 →
Closed Head · 密闭型 / 60L 大容量款 密闭型高气密性适合湿气敏感化学品;60L 大容量款减少换桶次数,提升大流量产线效率(中日台专利申请中)。 查看产品详情 →
光罩传输盒
Entegris®

光罩传输盒 · Reticle Pod

满足光刻机兼容要求的标准化 Reticle Pod,防颗粒、防湿气与 AMC,确保 EUV 及 ArF 浸没式光刻的光罩完整性。

EUV 光罩传输盒 · EUV Pod 1010 系列 EUV Reticle Pod,符合光刻机兼容要求,多重密封防颗粒与 AMC 污染,保护 EUV 光罩完整性。 查看产品系列 →
ArF / 多光罩传输盒 RSP-200 ArF 标准光罩盒及 MRP 多光罩传输盒 (Multiple Reticle Pod),高效传输与存储并支持多光罩管理。 查看产品系列 →
1010 Series 与 EUV Pod NX 规格对比资料(PDF) →
裸晶 / CSP 托盘
Entegris®

裸晶 / CSP 封装托盘

H20 / H44 系列标准化 IC 封装托盘,防静电材质保护裸晶、CSP 及光电器件免受 ESD 损伤,支持自动测试与传输设备兼容。

H20 系列托盘 H20 系列标准化裸晶与 CSP 封装托盘,精密定位槽、防静电材质,保护微电子器件安全传输与 IC 测试流程。 查看产品系列 →
H44 系列托盘 · 配件 H44 系列高兼容性 IC 封装托盘及配件,支持更多器件形态,搭配 Tray Wizard 选型工具快速匹配最优规格。 查看产品系列 →
浏览 Entegris 完整产品目录 →

从系统设计到产品供应

新增光刻胶与高纯电子化学品过滤、灌装系统设计,并继续提供选型、文件、供应与售后协调。

SYSTEM / FILTRATION

过滤系统设计

设计本体、循环、终端或多级过滤流路,综合评估滤材、面积、压降、滞留与微泡风险。

SYSTEM / FILLING

灌装系统设计

面向瓶、桶和内胆式容器,设计定量、防滴漏、密闭、联锁与批次追溯模块。

01 / SERVICE

产品选型咨询

根据客户具体工艺节点和设备条件,提供精准的产品匹配建议,缩短评估周期。

02 / SERVICE

样品申请与测试支持

按具体型号协助提出样品申请,并配合客户工程团队梳理测试条件;可用性与支持范围以书面确认为准。

03 / SERVICE

库存与交期管理

按完整型号、数量与交付地点核对库存和交期,并协助制定分批交付或备货方案。

04 / SERVICE

技术文件与合规支持

按型号和项目协助核对 SDS、CoA、REACH/RoHS 等文件的适用版本与可提供范围。

05 / SERVICE

价格与供应链优化

基于年度用量、交付节奏与完整型号协助制定采购方案;价格和供货安排以有效报价为准。

06 / SERVICE

技术资源协调

根据项目需要协助整理问题、技术资料和验证输入,并协调可用的产品与应用支持资源。

采购与选型支持的核心价值

围绕完整型号、工况条件和项目节点,提供可核对的产品资料与询价协助。

🏅

供应信息可核验

授权状态、销售区域、产品范围和供货来源均按当前有效书面文件、具体型号与项目确认。

🔬

深度工艺理解

团队具备半导体工艺实战经验,能从客户角度理解问题、提出有价值的解决方案。

询价输入清晰

优先核对完整型号、数量、终端用途、交付地点和所需文件,减少反复确认。

📊

透明商务

报价中明确型号、数量、币种、税费、有效期、交期与贸易条件,具体条款以有效报价为准。

🌐

本地化服务网络

立足中国大陆,协助沟通选型、询价、文件与交付事项;合规要求按项目和适用规则确认。

🤝

长期合作导向

不做一锤子买卖,致力于成为客户长期信赖的供应链合作伙伴。

半导体行业新闻

聚焦先进制程材料、过滤纯化技术与半导体供应链最新动态,助力客户把握行业趋势。

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湖北省武汉市;详细办公地址以当前工商登记或书面联系信息为准
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