应用中心 · 独立系统工程服务

光刻胶与高纯化学品
过滤 · 灌装系统

众甫半导体面向半导体制造、封装、设备与化学品客户,独立提供光刻胶与高纯化学品过滤、灌装系统设计; 过滤器、管阀件及包装容器根据项目需求进行品牌中立选型。

过滤器
气体与液体过滤
滤芯
型号确认与替换
NOWPak
化学品包装系统
PFA
阀门、管材与接头
Authorized Distributor · 授权代理商
Entegris
众甫半导体 Entegris 在华授权代理商 · 原厂直供 · 技术支持
Official Channel · 正规渠道
原厂授权证书 CoA · SDS 齐备 原厂技术支持

从材料特性出发,设计洁净流路

围绕光刻胶与高纯电子化学品,整合过滤、输送、灌装和高纯流体部件,形成可评审、可实施的系统方案。

众甫独立设计 · Photoresist

光刻胶过滤系统

针对 EUV、ArF、KrF 光刻胶以及显影液、BARC 等材料,评估过滤精度、滤材相容性、压差、滞留体积和微泡风险,支持本体过滤、循环过滤与终端过滤方案。

原液容器惰性气体加压预过滤精过滤洁净灌装

原厂授权 · 深度绑定 · 本地服务

作为 Entegris 的专业代理商,我们不仅提供产品采购通道,更是客户在半导体材料选型、工艺适配及供应链管理上的长期合作伙伴。

Authorized Distributor
Entegris
应特格 · 英特格 · 中国区授权
🏭覆盖前道 / 后道 / 先进封装全工艺段
🔬原厂技术支持团队直接介入
🚚本地备货 · 快速响应交货需求
📋完整的产品认证及合规文件
🤝长期战略合作框架协议
01
原厂直连

与 Entegris 全球团队建立直接沟通渠道,第一时间获取产品更新与技术资讯,确保客户拿到最新规格与最优价格。

02
专业技术团队

团队成员拥有半导体工艺背景,具备 CMP、过滤、特气、封装材料等多领域工艺理解能力,为客户提供选型建议。

03
本地化服务能力

中国大陆本地运营,具备国内进口资质与海关申报经验,缩短到货周期,降低客户采购风险。

04
合规与质量保障

所有产品均通过原厂正规渠道采购,附带 CoA、SDS 及原厂质量证书,满足客户审厂及认证要求。

Entegris 核心产品线

覆盖半导体制造各关键工艺节点,提供晶圆制造、先进封装及设备维护所需的全系列原厂材料。

Entegris 过滤器 Entegris 滤芯 NOWPak PFA 管阀件 过滤 · 灌装系统 Entegris 品牌服务 资质核验
液体过滤
Entegris®

液态化学品过滤与纯化

覆盖 HF、H₂O₂、SC1/SC2、光刻胶、显影液等关键湿法化学品,提供颗粒去除、金属离子纯化及配套滤壳,满足 EUV 级别洁净要求。

光刻胶、显影液、BARC、EUV / ArF / KrF 光刻胶过滤可查看 光刻胶过滤器与滤芯选型应用页

液体过滤器 · Liquid Filters Torrento® X、Microgard®、Eximore® 等系列,覆盖光刻胶、酸、碱、CMP 浆料等多种介质,支持 2nm 以下节点颗粒控制要求。 查看产品系列 →
液体纯化器 · Liquid Purifiers 去除湿法化学品中的痕量金属离子与阴离子杂质,适用于超高纯化学品处理场景,保护关键工艺免受金属污染影响。 查看产品系列 →
光刻胶过滤 · Photoresist 面向 EUV、ArF、KrF 光刻胶、显影液、BARC 与点供过滤应用,整理过滤器、滤芯、NOWPak 和 PFA 管路选型参数。 查看应用页 →
液体滤壳 · Liquid Filter Housings 与过滤器配套的高纯 PFA / PVDF 滤壳系统,适用于腐蚀性化学品环境,支持单芯与多芯配置,满足不同流量与压力需求。 查看产品系列 →
气体过滤
Entegris®

气体过滤 · 纯化 · AMC 控制

工艺气体过滤器、AMC(空气分子污染)过滤系统,保护光刻机、扫描仪及工艺腔体,消除酸性/碱性/有机分子对良率的影响。

在线气体过滤 · Inline Gas Filters Wafergard® GT-Plus/GTL、II F Micro、MAX 及 NF 镍膜系列,覆盖 PTFE 与全金属过滤器,适用于惰性、反应性及高温腐蚀性气体管路。 查看产品系列 →
气体纯化 · Gas Purification GateKeeper® GPU 点供纯化器、HGU 加热 Getter 纯化器及 EX/HX 厂务级纯化系统,痕量水氧/金属/腐蚀性杂质出口纯度达 pptV 级别。 查看产品系列 →
气体扩散 · Gas Diffuser Chambergard™ 快速排气扩散器,用于 load lock 与传输腔向大气快速泄压,不扰动腔内晶圆,缩短排气循环时间、提升系统产能。 查看产品系列 →
AMC · 分子污染控制 VaporSorb™、SilverSet® 系列去除酸碱有机分子污染,保护 DUV / EUV 光刻机镜头与工艺腔体,适用 22nm 及以下先进节点。 查看产品系列 →
晶圆传输容器
Entegris®

晶圆与器件传输容器

覆盖 300mm / 200mm 晶圆传输、光罩 (Reticle) 及裸晶 / CSP 器件的全套传输与包装解决方案,防颗粒、防静电、兼容 OHT 自动化系统。

FOUP · 晶圆前开口传输盒 A300 / Spectra 300mm FOUP 及 200mm SMIF Pod,符合 SEMI E47/E62,防静电防颗粒,兼容 OHT 自动传输系统。 查看产品系列 →
光罩传输盒 · Reticle Pod EUV 1010 系列、RSP-200 及 MRP 多光罩传输盒,防颗粒与 AMC 污染,保护 EUV / ArF 光刻光罩完整性。 查看产品系列 →
裸晶 / CSP 封装托盘 H20 / H44 系列标准化 IC 封装托盘,防静电材质适用于裸晶、CSP、光电器件的安全传输与测试。 查看产品系列 →
高纯 PFA 管路
Entegris®

高纯 PFA 管路

适用于半导体 Fab 超纯水(UPW)及湿法化学品输送的高纯 PFA 管材,极低析出、耐强酸碱,覆盖 BCD 至使用点(POU)全段管路需求。

FluoroLine® PFA 管材 超高纯 PFA 管(UltraPure / ESD 防静电 / 双层防护),极低析出、耐强酸碱,覆盖 BCD 至 POU 全段管路。 查看产品系列 →
PureBond® 焊接管材 可焊接高纯 PFA 管,热焊接接头无泄漏风险,适用于超纯水(UPW)及腐蚀性化学品管路系统。 查看产品系列 →
阀门 · 管接头
Entegris®

高纯 PFA 阀门 · 管接头

覆盖隔膜阀、截止阀及各类管接头,适用于腐蚀性化学品管路的精密流量控制与高纯流体分配系统。

阀门系列 · Valves Integra® 精密隔膜阀、PrimeLock® 截止阀,全 PFA 结构,适用于腐蚀性化学品管路的精密流量控制与分配。 查看产品系列 →
管接头系列 · Fittings PrimeLock®、Flaretek®、PureBond® 系列高纯 PFA 管接头,低析出、耐腐蚀,覆盖各类半导体管路连接需求。 查看产品系列 →
化学品包装方案
Entegris®
Entegris NOWPak 不锈钢 canister 化学品包装容器 Entegris NOWPak canister dispense connector 高粘度化学品取液连接器 Entegris NOWPak bottle liner based system 化学品包装瓶 Entegris FluoroPure 高纯大容量化学品包装桶

化学品包装方案

面向半导体湿法化学品的高纯包装容器,从折叠内袋至大容量桶装,降低余液浪费与污染风险,满足全场景储运分配需求。

高粘度 PI、OLED 基板 PI、黄 PI、PSPI 等聚酰亚胺材料可查看 NOWPak 包装与供液应用页

NOWPak® 折叠内袋系统 折叠式内袋实现近零余液输送,气动/重力分配接口,减少化学品浪费,降低废液处置成本与污染风险。 查看产品系列 →
高粘度 PI · OLED 黄 PI 应用 面向高粘度 PI、OLED 基板 PI、黄 PI、PSPI 等材料,确认 NOWPak 包装、连接器、过滤与 PFA 管路参数。 查看应用页 →
FluoroPure® 大容量包装 高纯 HDPE Drum 桶与 IBC 中型散装容器,三层阻隔结构,适用于大宗化学品储运与本体化学品分配系统。 查看产品系列 →
🏭 Japan Pail Corporation

高纯金属储运桶 · Steel Pail with HDPE

外桶 TFS + 内胆无添加 HDPE 双层结构,专为 OLED 高粘度基板黄色 PI、PSPI 等半导体化学品储运设计,余液极低、颗粒严格管控,符合 UN 危险品标准。

Eco Type · 开口型低余液款 专利内胆形状余液极少,开口型便于内外桶分类处置,直接加压取液(≤100 kPa),降低废液成本,最经济环保选型。 查看产品详情 →
Closed Head · 密闭型 / 60L 大容量款 密闭型高气密性适合湿气敏感化学品;60L 大容量款减少换桶次数,提升大流量产线效率(中日台专利申请中)。 查看产品详情 →
光罩传输盒
Entegris®

光罩传输盒 · Reticle Pod

满足光刻机兼容要求的标准化 Reticle Pod,防颗粒、防湿气与 AMC,确保 EUV 及 ArF 浸没式光刻的光罩完整性。

EUV 光罩传输盒 · EUV Pod 1010 系列 EUV Reticle Pod,符合光刻机兼容要求,多重密封防颗粒与 AMC 污染,保护 EUV 光罩完整性。 查看产品系列 →
ArF / 多光罩传输盒 RSP-200 ArF 标准光罩盒及 MRP 多光罩传输盒 (Multiple Reticle Pod),高效传输与存储并支持多光罩管理。 查看产品系列 →
裸晶 / CSP 托盘
Entegris®

裸晶 / CSP 封装托盘

H20 / H44 系列标准化 IC 封装托盘,防静电材质保护裸晶、CSP 及光电器件免受 ESD 损伤,支持自动测试与传输设备兼容。

H20 系列托盘 H20 系列标准化裸晶与 CSP 封装托盘,精密定位槽、防静电材质,保护微电子器件安全传输与 IC 测试流程。 查看产品系列 →
H44 系列托盘 · 配件 H44 系列高兼容性 IC 封装托盘及配件,支持更多器件形态,搭配 Tray Wizard 选型工具快速匹配最优规格。 查看产品系列 →
浏览 Entegris 完整产品目录 →

从系统设计到产品供应

新增光刻胶与高纯电子化学品过滤、灌装系统设计,并继续提供选型、文件、供应与售后协调。

SYSTEM / FILTRATION

过滤系统设计

设计本体、循环、终端或多级过滤流路,综合评估滤材、面积、压降、滞留与微泡风险。

SYSTEM / FILLING

灌装系统设计

面向瓶、桶和内胆式容器,设计定量、防滴漏、密闭、联锁与批次追溯模块。

01 / SERVICE

产品选型咨询

根据客户具体工艺节点和设备条件,提供精准的产品匹配建议,缩短评估周期。

02 / SERVICE

样品申请与测试支持

协助申请原厂样品,并配合客户工程团队完成工艺测试与数据收集,加快导入进程。

03 / SERVICE

库存与交期管理

本地备货覆盖主要 SKU,支持 Blanket Order,按需交货,降低客户库存压力与断货风险。

04 / SERVICE

技术文件与合规支持

提供 SDS、CoA、REACH/RoHS 合规声明及原厂质量文件,支持客户审厂及认证需求。

05 / SERVICE

价格与供应链优化

协助客户制定年度采购框架协议,利用规模效应争取更优价格与更稳定的供货保障。

06 / SERVICE

原厂资源对接

联结 Entegris 全球应用工程师,在工艺问题攻关、产品升级导入等场景提供深度资源支持。

专业代理的核心价值

我们不只是产品的搬运者,更是您工艺升级路上的可靠顾问。

🏅

原厂授权背书

持有 Entegris 正式代理授权,所有产品来源可追溯,杜绝假货与渠道风险。

🔬

深度工艺理解

团队具备半导体工艺实战经验,能从客户角度理解问题、提出有价值的解决方案。

快速响应

24 小时内回复技术咨询,紧急订单优先处理,让客户生产线不停摆。

📊

透明商务

清晰的报价体系,无隐性费用,支持账期结算,建立长期互信的合作关系。

🌐

本地化服务网络

立足中国大陆,熟悉本地法规与进口流程,提供端到端的本地化服务支持。

🤝

长期合作导向

不做一锤子买卖,致力于成为客户长期信赖的供应链合作伙伴。

半导体行业新闻

聚焦先进制程材料、过滤纯化技术与半导体供应链最新动态,助力客户把握行业趋势。

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